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申请/专利权人：上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心)
摘要：本实用新型为一种用于原子力显微镜的悬臂梁探针支架，包括基体、探针座和夹持机构，所述的基体为中空柱体结构，在中心通孔的顶部设有圆形视窗，所述的探针座用于安装悬臂梁探针，设于圆形视窗外表面，安装后探针的针尖位于圆形视窗区域内，所述的悬臂梁探针通过夹持机构夹紧固定，夹持机构通过固定杆设于基体侧壁，包括夹持片和金属弹片，所述的夹持片为“Z”字形结构，其顶部一段为用于压紧悬臂梁探针圆弧压片，中段竖直并开有矩形卡槽，底部一段为水平段，所述的金属弹片设有一端部倾斜于本体表面的薄型弹片，金属弹片本体固定于基体侧壁上，夹持片相对于金属弹片上下活动，通过矩形卡槽与薄型弹片的卡合实现夹持片对悬臂梁探针的压紧定位。
主权项：1.一种用于原子力显微镜的悬臂梁探针支架，其特征在于：所述的悬臂梁探针支架包括基体、设于基体顶部的探针座和设于基体侧壁的夹持机构，所述的基体为中空柱体结构，在中心通孔的顶部设有圆形视窗，所述的探针座用于安装悬臂梁探针，设于基体顶部的圆形视窗外表面，安装后探针的针尖位于圆形视窗区域内，所述的悬臂梁探针通过夹持机构夹紧固定，所述的夹持机构通过固定杆设于基体侧壁，包括夹持片和金属弹片，所述的夹持片为“Z”字形结构，其顶部一段为圆弧压片，且端部向下倾斜，是压紧悬臂梁探针时的接触端，中段竖直并开有矩形卡槽，底部一段为水平段，所述的金属弹片设有一端部倾斜于本体表面的薄型弹片，金属弹片本体固定于基体侧壁上，夹持片相对于金属弹片上下活动，通过矩形卡槽与薄型弹片的卡合实现夹持片对悬臂梁探针的压紧定位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心) 一种用于原子力显微镜的悬臂梁探针支架
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