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申请/专利权人：安徽旭合新能源科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种带粉尘吹扫管的管式PECVD非晶硅多晶硅镀膜炉管，包括石英炉管，所述石英炉管包括电极接口、吹扫管本体、吹气口以及进气口，所述石英炉管底部分布有吹扫管本体，所述吹扫管本体底部开设有吹气口，所述吹气口与吹扫管本体内部连通，由于吹扫管分布在炉管底部，靠近非晶硅多晶硅粉尘积累的区域，从吹扫管吹出来的高速氮气或者CDA，可以直接把非晶硅多晶硅粉尘吹起来，这些被吹起来的粉尘，进一步从炉管的抽气口被抽走，剩下的尺寸较大、质量较重的粉尘，难以被吹起，也不会接触到待镀膜的样品，可以大幅降低镀膜炉管内的粉尘量，从而大大改善炉管内的洁净度，提升样品的镀膜品质。
主权项：1.一种带粉尘吹扫管的管式PECVD非晶硅多晶硅镀膜炉管，包括石英炉管1，其特征在于：所述石英炉管1包括电极接口4、吹扫管本体6、吹气口7以及进气口8，所述石英炉管1底部分布有吹扫管本体6，所述吹扫管本体6底部开设有吹气口7，所述吹气口7与吹扫管本体6内部连通，所述吹扫管本体6内部为中空结构，所述吹扫管本体6一端开设有进气口8，所述进气口8设置于石英炉管1外部，所述石英炉管1一端设有炉门2，所述石英炉管1另一端设有抽气口3，所述抽气口3外侧安装有电极接口4，所述石英炉管1内部顶端设有热偶套管5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽旭合新能源科技有限公司 一种带粉尘吹扫管的管式PECVD非晶硅多晶硅镀膜炉管
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