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申请/专利权人：上海优尊真空设备有限公司
摘要：本实用新型涉及真空泵技术领域，具体涉及一种低温泵，包括外壳体、冷屏、冷伞、制冷装置以及检测装置；尤其适用于半导体行业中芯片镀膜等加工过程中，提供纯净的真空环境保证加工精度。通过制冷装置进行制冷，主要对冷屏以及冷伞结构进行制冷，低温下冷伞上设置的吸附剂可以将环境中气体分子进行吸附并凝固在其上，实现真空环境。所述冷屏采用铜材质制成且内侧壁上镀覆有镍涂层，即在冷屏内壁上设置有黑色涂层，反射辐射的热能，防止热量反射至冷伞上，减少热辐射对真空环境可能造成的波动。通过设置有检测装置，对冷屏内的温度和真空度进行及时检测，避免冷屏内出现较大温度或真空度的波动时不易发现，及时维护减少对加工精度的影响。
主权项：1.一种低温泵，其特征在于，包括外壳体1、冷屏2、冷伞3、制冷装置以及检测装置；所述外壳体1设置为一端开口的中空结构，所述冷屏2固定设置在外壳体1的内部且结构相适配，所述冷伞3设置在冷屏2内，所述冷伞3的表面涂覆有吸附剂，所述制冷装置与冷伞3连接，为冷屏2内提供制冷作用，所述检测装置12设置在外壳体1上，用于检测冷屏2内的温度和真空度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海优尊真空设备有限公司 一种低温泵
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