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申请/专利权人：吾拾微电子(苏州)有限公司
申请日：2023-11-07
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221176170U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本申请涉及一种工件剥离机构，适于将解键合的产品剥离，剥离机构包括：安装板，承载组件，包括承载台，可相对于安装板上下移动；翻转组件；剥离组件，安装在安装板上，可在外力作用下相对于安装板运动，以将载片固定后传输至翻转组件；驱动组件，包括第一驱动件和第二驱动件，第一驱动件能够驱动承载组件相对于安装板上下移动，第二驱动件能够驱动若干顶杆相对于承载台上下移动。当剥离组件与吸附组件配合将产品进行剥离后，第二驱动件可以驱动若干顶杆向上移动，以将承载台上的晶圆顶升，使得晶圆与承载台之间具有一定的距离，从而实现机械手对承载台上晶圆的下料，该产品剥离机构对晶圆和载片剥离时不会使得晶圆破碎，保证晶圆和载片的质量。
主权项：1.一种工件剥离机构，其特征在于，适于将解键合的产品剥离，解键合的产品部件分别包括上下连接的晶圆和载片以及设置在一侧的铁环，所述剥离机构包括：安装板，承载组件，包括承载台，所述承载台在外力作用下可相对于所述安装板上下移动，以承接所述产品，所述产品以载片朝上的方式被放置在所述承载台上；翻转组件，安装在所述安装板上，且位于所述承载组件的一侧；剥离组件，安装在所述安装板上，可在外力作用下相对于所述安装板运动，以将所述载片固定后传输至所述翻转组件；驱动组件，包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件能够驱动所述承载组件相对于所述安装板上下移动；其中，所述承载组件还包括贯穿所述承载台设置的若干顶杆，所述第二驱动件能够驱动若干所述顶杆相对于所述承载台上下移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吾拾微电子(苏州)有限公司 一种工件剥离机构
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