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申请/专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日：2024-03-26
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118226638A
主分类号：G02B26/08
分类号：G02B26/08
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：一种防吸合平板式MEMS微镜及平板式MEMS微镜的防吸合控制方法，其中，防吸合平板式MEMS微镜包括：MEMS微镜和电极；MEMS微镜平行设置于电极上方，且电极上键合有PDMS基片，PDMS基片用于阻挡MEMS微镜吸合于电极上。本发明提供的防吸合平板式MEMS微镜的制作工序更简单快捷，无需制作支撑结构；PDMS基片适用于硅基材料和玻璃基材料，扩展了其应用范围；PDMS基片是柔性材料，具有一定的弹性缓冲作用，当MEMS微镜快速偏转接触到PDMS基片也不会产生刚性碰撞，从而避免了MEMS微镜结构性损伤；先制作合适尺寸的PDMS基片，再将制作好的PDMS基片与MEMS微镜的电极进行键合，相对于整体加工的技术方案，分体加工的技术方案降低了制作失败的风险。
主权项：1.一种防吸合平板式MEMS微镜，其特征在于，包括：MEMS微镜和电极；所述MEMS微镜平行设置于所述电极上方，且所述电极上键合有PDMS基片，所述PDMS基片用于阻挡所述MEMS微镜吸合于所述电极上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海镭望光学科技有限公司 防吸合平板式MEMS微镜及平板式MEMS微镜的防吸合控制方法
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