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申请/专利权人：苏州大学
申请日：2024-04-19
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118225737A
主分类号：G01N21/552
分类号：G01N21/552;G01N21/43;G01N21/01
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明公开了一种基于凹型反射光栅的微流控折射率传感器及其检测方法，包括多层结构，多层结构包括二氧化硅顶盖和基底，基底上设有梯形光栅结构层，梯形光栅结构层包括薄膜层和等间隔设置于薄膜层上的复数个梯形光栅，每个梯形光栅顶部均设有凹槽，所述凹槽深度为20‑100nm,宽度为100‑500nm。本发明在金属‑介质分界面激发表面等离子体共振，二氧化硅顶盖与光栅结构之间设有微流控槽腔，使得强电场与待分析物之间的空间重叠显著增加，提高了折射率传感的灵敏度；在普通的周期性光栅结构中引入凹型微结构，增强光栅对光场的束缚能力，使光场集中在高折射率区域，提高了折射率传感的品质因数。
主权项：1.一种基于凹型反射光栅的微流控折射率传感器，包括多层结构，其特征在于：所述多层结构包括二氧化硅顶盖和基底，所述基底上设有梯形光栅结构层，所述梯形光栅结构层包括薄膜层和等间隔设置于薄膜层上的复数个梯形光栅，所述梯形光栅周期为1210-1290nm,梯形光栅高度为95-155nm,梯形光栅下底边宽度为625-1250nm，上底边宽度为600-1000nm,每个梯形光栅顶部均设有凹槽，所述凹槽深度为20-100nm,宽度为100-500nm；所述二氧化硅顶盖与梯形光栅结构层中间设有一狭缝层作为微流控槽腔，所述微流控槽腔高度为1100-1900nm，待测物通过所述微流控槽腔进行传感测试。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州大学 基于凹型反射光栅的微流控折射率传感器及检测方法
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