龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：日本电子株式会社
申请日：2020-03-12
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN111696842B
主分类号：H01J37/28
分类号：H01J37/28;H01J37/22
优先权：["20190315 JP 2019-047949"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2021.12.10#实质审查的生效;2020.09.22#公开
摘要：一种带电粒子束装置，其中，拍摄器30对由试样载台20保持的试样保持器22进行拍摄。在拍摄器30的前方对象物侧设置有发光器阵列32和掩模阵列34。由发光器阵列32产生多个光束。多个光束的多个中央部分被掩模阵列34遮掩。由此产生的多个阴影被多个光束的多个周边部分覆盖。
主权项：1.一种带电粒子束装置，其特征在于，包含：拍摄器，其对包含试样的对象物进行拍摄；多个发光器，其朝向上述对象物照射多个光束；以及光分布调整构件，其具备配置在上述对象物与上述多个发光器之间的多个光限制要素，各上述光束包含中央部分和在上述中央部分的外侧延展的周边部分，各上述光限制要素限制各上述光束的上述中央部分的强度，上述光分布调整构件包含将上述多个光限制要素一体化的框架，上述框架包含外侧圈和设置在上述外侧圈的内侧的内侧圈，上述光分布调整构件还包含将上述外侧圈与上述内侧圈之间连接的多个桥，各上述桥作为各上述光限制要素的整体或一部分发挥功能。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号