申请/专利权人：昆山晟成光电科技有限公司

申请日：2024-04-03

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN117998876B

主分类号：H10K30/50

分类号：H10K30/50;H10K30/88;H10K30/86;H10K30/15;H10K71/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.21#授权;2024.05.24#实质审查的生效;2024.05.07#公开

摘要：本发明属于光伏电池制造技术领域，涉及一种钝化改性反式钙钛矿太阳能电池模组的制备方法，步骤包括：衬底清洗、氧化镍制备、氧化镍钝化、钝化层清洗、钙钛矿层制备、电子传输层制备和顶电极制备。本方法通过简单涂布并使用有机溶剂清洗钙钛矿材料可以有效处理氧化镍表面对钙钛矿有害的高价镍离子及化学反应性基团，提高了氧化镍薄膜的透过率、增强了氧化镍薄膜的空穴抽取能力、降低了界面复合损失；钝化后的氧化镍薄膜表面无需再用复杂的表面处理，二次涂布的钙钛矿可以在氧化镍表面很好地铺展开来，宏观孔洞和微观针孔显著减少、晶粒尺寸增大、缺陷密度降低；实现钝化效果的同时，也避免了引入其他钝化剂导致增加的设备成本和原料成本。

主权项：1.一种钝化改性反式钙钛矿太阳能电池模组的制备方法，反式钙钛矿太阳能电池模组包括自下而上依次层叠设置的导电衬底、空穴传输层、钙钛矿吸光层、电子传输层以及顶电极，所述空穴传输层材料为钝化改性后的氧化镍，其特征在于制备方法的步骤包括：S1、衬底清洗：将导电衬底进行P1激光划线，随后将所述导电衬底的表面清洗干净，吹干备用；S2、氧化镍制备：将所述导电衬底转移到PVD设备中，溅射腔抽真空，通入O2和Ar2，打开溅射电源，使用掺杂的氧化镍靶材进行溅射，得到氧化镍薄膜；S3、氧化镍钝化：将所述氧化镍薄膜进行等离子处理1分钟后涂布第一钙钛矿薄膜，涂布厚度为100-500nm；S4、钝化层清洗：钝化后的氧化镍基底放置24小时以上，随后将第一钙钛矿薄膜通过有机溶剂清洗掉，得到空穴传输层；S5、钙钛矿层制备：在所述空穴传输层的表面涂布第二钙钛矿薄膜，涂布厚度为400-600nm，去溶剂后退火处理，所述退火温度为100-150℃，退火时间为10-30min，得到所述钙钛矿吸光层；S6、电子传输层制备：在所述第二钙钛矿薄膜的表面镀上电子传输层，再在制备完所述电子传输层的半电池上进行P2激光划线；S7、顶电极制备：在所述电子传输层的外侧制备顶电极，所述顶电极厚度为100-300nm，再在制备完所述顶电极的电池器件上进行P3激光划线；所述第一钙钛矿薄膜和第二钙钛矿薄膜材质相同并均包含FA+、MA+、Cs+、Sn2+、Pb2+中的至少两种阳离子和I-、Cl-、Br-中的至少一种阴离子。

全文数据：

权利要求：

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