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申请/专利权人：华中科技大学
申请日：2022-11-11
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN115903979B
主分类号：G05F1/56
分类号：G05F1/56
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2023.04.21#实质审查的生效;2023.04.04#公开
摘要：本发明属于精密电流源技术领域，更具体地，涉及一种射频激励的精密微电流源及其工作方法。本发明提供的一种精密微电流源，包括压电衬底、射频信号源、叉指换能器、半导体薄膜以及半导体薄膜两端的电极，基于声表面波与半导体薄膜之间的声电效应，其中射频信号作为激励源，通过叉指换能器在压电衬底表面激励声表面波，声表面波与半导体薄膜之间的声电效应致使半导体薄膜内部产生电流并通过电极输出。本发明精密电流源可以做到无线无源，且其输出电流与输入射频功率存在较好的线性关系，线性区域较宽，通过改变功率即可改变输出电流，输出电流可以做到nA至uA的至少两个数量级的宽量程变化。
主权项：1.一种射频激励的精密微电流源，其特征在于，包括压电衬底（1）、射频信号源（2）、叉指换能器（3）、半导体薄膜（4）和所述半导体薄膜两端的电极（5）；所述射频信号源（2）用于产生射频信号；所述叉指换能器（3）用于根据所述射频信号在所述压电衬底（1）的表面借助逆压电效应激励产生声表面波，且所述声表面波以弹性振动形式在所述压电衬底（1）的表面传播，该弹性振动引起的应变场产生周期性电压势场；所述半导体薄膜（4）位于所述声表面波的传播区域内，且所述周期性电压势场能够驱动所述半导体薄膜（4）内的载流子运动，所述半导体薄膜用于根据所述周期性电压势场与所述半导体薄膜（4）内载流子的相互作用引起的声电效应产生电流；并通过所述电极（5）输出电流；所述输出电流能够通过改变所述射频信号的频率和或功率实现调控。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 一种射频激励的精密微电流源及其工作方法
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