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申请/专利权人：觉芯电子(无锡)有限公司
申请日：2024-03-20
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118226637A
主分类号：G02B26/08
分类号：G02B26/08;B81B7/02
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本申请提供了一种MEMS压电微镜，属于微机电系统技术领域。所述压电微镜包括锚固框架、设于所述锚固框架上的驱动器及可动反射镜面；所述驱动器包括分别设于所述锚固框架相对两侧的压电件，所述压电件在电压作用下产生弯曲形变，根据弯曲形变量的相对大小，所述压电件包括弯曲形变量相对较小且满足第一预设要求的锚固部、以及弯曲形变量相对较大且满足第二预设要求的驱动部；所述锚固框架与所述压电件的所述锚固部连接；所述可动反射镜面与所述压电件的所述驱动部连接。所述MEMS压电微镜在相同电压驱动下可以获得更大的镜面扭转角度，压电驱动效率高。
主权项：1.一种MEMS压电微镜，其特征在于，包括锚固框架、设于所述锚固框架上的驱动器及可动反射镜面；所述驱动器包括分别设于所述锚固框架相对两侧的压电件，所述压电件在电压作用下产生弯曲形变，根据弯曲形变量的相对大小，所述压电件包括弯曲形变量相对较小且满足第一预设要求的锚固部、以及弯曲形变量相对较大且满足第二预设要求的驱动部；所述锚固框架与所述压电件的所述锚固部连接；所述可动反射镜面与所述压电件的所述驱动部连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 觉芯电子(无锡)有限公司 MEMS压电微镜
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