申请/专利权人:罗伯特·博世有限公司
申请日:2023-12-20
公开(公告)日:2024-06-21
公开(公告)号:CN118233818A
主分类号:H04R19/02
分类号:H04R19/02
优先权:["20221220 DE 102022214082.6"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.21#公开
摘要:本发明涉及一种MEMS元件101,包括至少一个泵103,其中,所述泵103包括至少一个腔室105,所述腔室具有顶壁107、底壁109和相对的两个侧壁111,113,其中,所述顶壁107和所述底壁109分别设置有至少一个阀开口115,117,其中,在所述腔室105内部布置有能横向运动、在竖直方向上延伸的活塞119,还包括驱动装置121,所述驱动装置设立为用于在所述腔室105内在横向方向上驱动所述活塞119,使得所述活塞119在所述腔105内在横向方向上运动。本发明还涉及一种包括所述MEMS元件101的声学换能器。
主权项:1.MEMS元件101,包括:至少一个泵103,其中,所述泵103包括至少一个腔室105,所述腔室具有顶壁107、底壁109和相对的两个侧壁111,113,其中,所述顶壁107和所述底壁109分别设置有至少一个阀开口115,117,其中,在所述腔室105内部布置有能横向运动、在竖直方向上延伸的活塞119,和驱动装置121,所述驱动装置设立为用于在所述腔室105内在横向方向上驱动所述活塞119,使得所述活塞119在所述腔105内在横向方向上运动。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 罗伯特·博世有限公司 MEMS元件和声学换能器
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