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【发明公布】MEMS元件和声学换能器_罗伯特·博世有限公司_202311757929.4 

申请/专利权人:罗伯特·博世有限公司

申请日:2023-12-20

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN118233818A

主分类号:H04R19/02

分类号:H04R19/02

优先权:["20221220 DE 102022214082.6"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.21#公开

摘要:本发明涉及一种MEMS元件101,包括至少一个泵103,其中,所述泵103包括至少一个腔室105,所述腔室具有顶壁107、底壁109和相对的两个侧壁111,113,其中,所述顶壁107和所述底壁109分别设置有至少一个阀开口115,117,其中,在所述腔室105内部布置有能横向运动、在竖直方向上延伸的活塞119,还包括驱动装置121,所述驱动装置设立为用于在所述腔室105内在横向方向上驱动所述活塞119,使得所述活塞119在所述腔105内在横向方向上运动。本发明还涉及一种包括所述MEMS元件101的声学换能器。

主权项:1.MEMS元件101,包括:至少一个泵103,其中,所述泵103包括至少一个腔室105,所述腔室具有顶壁107、底壁109和相对的两个侧壁111,113,其中,所述顶壁107和所述底壁109分别设置有至少一个阀开口115,117,其中,在所述腔室105内部布置有能横向运动、在竖直方向上延伸的活塞119,和驱动装置121,所述驱动装置设立为用于在所述腔室105内在横向方向上驱动所述活塞119,使得所述活塞119在所述腔105内在横向方向上运动。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 罗伯特·博世有限公司 MEMS元件和声学换能器

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