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申请/专利权人：埃特曼(厦门)光电科技有限公司
申请日：2023-10-13
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221192427U
主分类号：C30B23/02
分类号：C30B23/02;C30B25/12;C23C14/50;C23C16/458;H01L21/673
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本申请涉及一种衬底托，包括：具有一收容腔的基座；设在所述基座上的支承部件，所述支承部件包括多个第一支承托角，多个所述第一支承托角分布在所述收容腔的下方，且所述第一支承托角的支承表面被配置为与在所述收容腔中的衬底底端接触，其中，所述支承部件由绝热材料制成或所述第一支承托角的支承表面涂有隔热涂料，且所述绝热材料或所述隔热涂料的绝热性能优于所述基座。本申请能够减小衬底与衬底托接触位置的温度梯度，进而减少由温度梯度引起的热应力过大而使得晶圆上出现滑移线缺陷，甚至于消除滑移线缺陷，可以提高晶圆的良率。
主权项：1.一种衬底托，其特征在于，包括：具有一收容腔的基座；设在所述基座上的支承部件，所述支承部件包括多个第一支承托角，多个所述第一支承托角分布在所述收容腔的下方，且所述第一支承托角的支承表面被配置为与在所述收容腔中的衬底底端接触，其中，所述支承部件由绝热材料制成或所述第一支承托角的支承表面涂有隔热涂料，且所述绝热材料或所述隔热涂料的绝热性能优于所述基座。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 埃特曼(厦门)光电科技有限公司 衬底托
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