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【实用新型】一种反应釜监测机构_武汉中芯未来应用材料研究院_202323066578.0 

申请/专利权人:武汉中芯未来应用材料研究院

申请日:2023-11-14

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN221182723U

主分类号:B01J19/00

分类号:B01J19/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.21#授权

摘要:本实用新型公开了一种反应釜监测机构,包括设置于反应釜表面的监测箱以及包括固定在反应釜表面的固定座,所述反应釜的底端固定有支架,所述监测箱设置与固定座的内侧,所述监测箱的表面设置有按钮,所述监测箱与固定座之间设置有安装机构,所述按钮的表面设置有防尘机构,所述安装机构包括:连接组件,该连接组件设置在监测箱与固定座之间的连接处;本实用新型通过设计的连接槽、连接块、导向槽与导向块,能够实现让监测箱与固定座准确的对接,同时配合设计的限位槽与限位扣,还能够对监测箱暂时限位,并且让定位孔与贯穿孔准确无误的对位,以便于使用定位杆轻松的贯穿拧合,相比较现有的技术,大大方便了监测箱进行安装。

主权项:1.一种反应釜监测机构,包括设置于反应釜2表面的监测箱4以及包括固定在反应釜2表面的固定座3,所述反应釜2的底端固定有支架1,所述监测箱4设置与固定座3的内侧,所述监测箱4的表面设置有按钮5,其特征在于:所述监测箱4与固定座3之间设置有安装机构,所述按钮5的表面设置有防尘机构,所述安装机构包括:连接组件,该连接组件设置在监测箱4与固定座3之间的连接处;导向组件,该导向组件设置在连接组件的内部;限位组件,该限位组件设置在连接组件的内侧;复位组件,该复位组件设置在限位组件的内部;定位组件,该定位组件设置在固定座3的两侧与监测箱4连接。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 武汉中芯未来应用材料研究院 一种反应釜监测机构

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