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申请/专利权人：泉芯半导体科技(无锡)有限公司
申请日：2023-11-30
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221196324U
主分类号：F16K51/00
分类号：F16K51/00;H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型公开一种立式晶圆甩干机的阀安装结构及立式晶圆甩干机，该立式晶圆甩干机的阀安装结构包括甩干机外筒、安装支架、气阀模组和控制阀模组，甩干机外筒的后端设置有驱动电机组件，安装支架可拆装地安装在甩干机外筒的后端且位于驱动电机组件的上方，安装支架上至少包括第一安装区域和第二安装区域，气阀模组可拆装地安装在第一安装区域，控制阀模组可拆装地安装在第二安装区域，上述阀安装结构通过在甩干机外筒的后端设置安装支架，且位于驱动电机组件的上方，以将气阀模组和控制阀模组集中安装在驱动电机的上方，便于后期维护和检修。
主权项：1.一种立式晶圆甩干机的阀安装结构，其特征在于，所述立式晶圆甩干机的阀安装结构包括甩干机外筒、安装支架、气阀模组和控制阀模组，其中，所述甩干机外筒的后端设置有驱动电机组件，所述安装支架可拆装地安装在所述甩干机外筒的后端且位于所述驱动电机组件的上方，所述安装支架上至少包括第一安装区域和第二安装区域，所述气阀模组可拆装地安装在所述第一安装区域，所述控制阀模组可拆装地安装在所述第二安装区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 泉芯半导体科技(无锡)有限公司 一种立式晶圆甩干机的阀安装结构及立式晶圆甩干机
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