龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：芜湖芯通半导体材料有限公司
申请日：2023-10-13
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221192301U
主分类号：C23C14/50
分类号：C23C14/50;H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型公开了一种用于PVD制程的防护装置，包括防护罩和防护治具，所述防护罩与硅片接触，防护治具安装在防护罩上，防护治具包括柱体和盖体，盖体位于柱体的上方，盖体与防护罩的上表面配合。本实用新型使用防护治具与防护罩配合对产品进行保护，不仅彻底改变了传统的高温胶带遮蔽保护方式，使用防护治具直接填充需要保护的部位，避免了残胶与胶印的问题；而且对员工技能要求低，适合批量生产。
主权项：1.一种用于PVD制程的防护装置，其特征在于：包括防护罩1和防护治具，所述防护罩1与硅片接触，防护治具安装在防护罩1上，防护治具包括柱体2和盖体3，盖体3位于柱体2的上方，盖体3与防护罩1的上表面配合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芜湖芯通半导体材料有限公司 一种用于PVD制程的防护装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号