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申请/专利权人：中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日：2023-11-27
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221200237U
主分类号：G03F7/30
分类号：G03F7/30
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本申请涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种显影液供给管路及显影设备。影液供给管路，包括：显影液供给泵、泵前供给管路和泵后供给管路；显影液供给泵包括进液端和出液端，泵前供给管路与进液端连接，泵后供给管路与出液端连接；泵前供给管路中设置有金属调节器，泵后供给管路中设置有金属管路连接件；金属调节器与和金属管路连接件均与接地导线连接。通过将显影液中产生的静电被分段传导除去，从而防止显影液中携带有高静电，一方面可以确保显影液供给安全，另一方面可以避免因显影液携带静电在晶圆上出现药液残留，从而提高成品率，降低工艺加工成本。
主权项：1.一种显影液供给管路，其特征在于，包括：显影液供给泵20、泵前供给管路10和泵后供给管路30；所述显影液供给泵20包括进液端和出液端，所述泵前供给管路10与所述进液端连接，所述泵后供给管路30与所述出液端连接；所述泵前供给管路10中设置有金属调节器，所述泵后供给管路30中设置有金属管路连接件31；所述金属调节器与和所述金属管路连接件31均与接地导线连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种显影液供给管路及显影设备
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