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一种内置导电回路的电镀夹具 

申请/专利权人:无锡琨圣智能装备股份有限公司

申请日:2022-12-15

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN118241287A

主分类号:C25D17/06

分类号:C25D17/06;C25D17/00

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.25#公开

摘要:本发明提供一种内置导电回路的电镀夹具,一对第一花篮杆相对平行间隔设置,第一花篮杆上均匀套设有若干第一压合件,第一压合件与第一花篮杆内部导电接触;一对第二花篮杆相对平行间隔设置在第一花篮杆下方,第二花篮杆沿轴向伸缩设置,第二花篮杆上均匀套设有若干第二压合件,第一压合件与第二压合件一一配对形成弹性夹持点,第二压合件与第二花篮杆内部导电接触;各个花篮杆与阴极电源连接,待电镀工件被弹性夹持在两侧的弹性夹持点之间。本发明采用的压合件稳定设置在花篮杆上,且同一组的各个压合件共连,压合件不易变形和移位,夹持力稳定,硅片破碎率更低,实用性更强。

主权项:1.一种内置导电回路的电镀夹具,其特征在于,包括:一对第一花篮杆,其相对平行间隔设置,所述第一花篮杆上均匀套设有若干第一压合件,所述第一压合件与所述第一花篮杆内部导电接触;一对第二花篮杆,其相对平行间隔设置在所述第一花篮杆下方,所述第二花篮杆沿轴向伸缩设置,所述第二花篮杆上均匀套设有若干第二压合件,所述第一压合件与第二压合件一一配对形成弹性夹持点,所述第二压合件与所述第二花篮杆内部导电接触;其中,各个花篮杆与阴极电源连接,待电镀工件被弹性夹持在两侧的所述弹性夹持点之间。

全文数据:

权利要求:

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