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申请/专利权人：深圳先进电子材料国际创新研究院
申请日：2024-04-17
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118244583A
主分类号：G03F7/038
分类号：G03F7/038;G03F7/027
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明公开了一种负型感光性聚酰亚胺前体树脂组合物，包括：100质量份聚酰胺酸脂；5～20质量份含酰胺酸结构的光交联剂；0.5～5质量份光聚合引发剂；0.5～5质量份硅烷偶联剂；0.01～1质量份聚合抑制剂；0.5～4质量份热产碱剂；1～5质量份架桥剂；0.5～3质量份抗氧化剂；0.1～2质量份粘接助剂；光交联剂的结构通式为：X为4价含有环状结构的有机基团，Y为2价有机基团，R1、R2、R3、R1＇、R2＇和R3＇分别独立地选自氢原子、碳原子数1～3的烷基。本发明提供的组合物可使低温固化后的聚酰亚胺材料具备良好的热力学性能、耐化学腐蚀性、光刻性能。
主权项：1.一种负型感光性聚酰亚胺前体树脂组合物，其特征在于，包括：100质量份作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸脂；5～20质量份含酰胺酸结构的光交联剂；0.5～5质量份光聚合引发剂；0.5～5质量份硅烷偶联剂；0.01～1质量份聚合抑制剂；0.5～4质量份热产碱剂；1～5质量份架桥剂；0.5～3质量份抗氧化剂；0.1～2质量份粘接助剂；其中，所述光交联剂的结构通式如式1所示： 式1中，X为4价含有环状结构的有机基团，Y为2价有机基团，R1、R2、R3、R1＇、R2＇和R3＇分别独立地选自氢原子、碳原子数1～3的烷基中的任意一个；优选地，所述2价有机基团为含有芳香基和或碳原子数2～8的脂肪链的有机基团。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳先进电子材料国际创新研究院 一种负型感光性聚酰亚胺前体树脂组合物
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