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一种交叉式均温液冷板 

申请/专利权人:中国电子科技集团公司第四十四研究所

申请日:2024-04-03

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN118248644A

主分类号:H01L23/367

分类号:H01L23/367;H01L23/473

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.25#公开

摘要:本发明涉及一种交叉式均温液冷板,包括内部设有流道区域的基板,以及设于基板上且与流道区域连通的冷却介质入口和冷却介质出口,所述流道区域包括多个层叠设于基板内的隔板,所述隔板内设有多个平行布置的微流道,且相邻隔板间的微流道呈交叉布置。本发明不受冷却介质入口与出口的温度差异影响,微流道采用立体式交叉分布,且各微流道间彼此均相通,冷却介质在微流道流动过程中,所有微流道间均能彼此进行热传递,使得流道区域内的温度均匀性大幅提升,从而提高了芯片的温度均匀性,能够满足大功率芯片在工作过程中温度均匀性要求。

主权项:1.一种交叉式均温液冷板,包括内部设有流道区域的基板,以及设于基板上且与流道区域连通的冷却介质入口和冷却介质出口,其特征在于:所述流道区域包括多个层叠设于基板内的隔板,所述隔板内设有多个平行布置的微流道,且相邻隔板间的微流道呈交叉布置。

全文数据:

权利要求:

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