申请/专利权人:中国电子科技集团公司第四十四研究所
申请日:2024-04-03
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN118248644A
主分类号:H01L23/367
分类号:H01L23/367;H01L23/473
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.25#公开
摘要:本发明涉及一种交叉式均温液冷板,包括内部设有流道区域的基板,以及设于基板上且与流道区域连通的冷却介质入口和冷却介质出口,所述流道区域包括多个层叠设于基板内的隔板,所述隔板内设有多个平行布置的微流道,且相邻隔板间的微流道呈交叉布置。本发明不受冷却介质入口与出口的温度差异影响,微流道采用立体式交叉分布,且各微流道间彼此均相通,冷却介质在微流道流动过程中,所有微流道间均能彼此进行热传递,使得流道区域内的温度均匀性大幅提升,从而提高了芯片的温度均匀性,能够满足大功率芯片在工作过程中温度均匀性要求。
主权项:1.一种交叉式均温液冷板,包括内部设有流道区域的基板,以及设于基板上且与流道区域连通的冷却介质入口和冷却介质出口,其特征在于:所述流道区域包括多个层叠设于基板内的隔板,所述隔板内设有多个平行布置的微流道,且相邻隔板间的微流道呈交叉布置。
全文数据:
权利要求:
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