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一种判定非晶碳涂层耐蚀性的方法 

申请/专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所

申请日:2024-04-19

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN118243600A

主分类号:G01N17/00

分类号:G01N17/00;G01N23/201

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.25#公开

摘要:本发明公开了一种判定非晶碳涂层耐蚀性的方法,采用小角X射线散射技术对非晶碳涂层内部孔隙缺陷进行表征,利用分析软件对散射数据进行分析,得到散射强度与散射矢量曲线,以散射强度和散射矢量关系作为评价指标,判定非晶碳涂层耐蚀性的优劣。本发明实现了纳米尺度孔隙缺陷的有效检测和统计,并建立了非晶碳涂层孔隙缺陷与耐蚀性的定性化关联,不仅能填补非晶碳涂层孔隙缺陷表征上的空缺,也可直接用于涂层耐蚀性的强弱对比判定。

主权项:1.一种判定非晶碳涂层耐蚀性的方法,其特征在于,采用小角X射线散射技术对非晶碳涂层内部孔隙缺陷进行表征,利用分析软件对散射数据进行分析,得到散射强度与散射矢量曲线,以散射强度和散射矢量关系作为评价指标,判定非晶碳涂层耐蚀性的优劣。

全文数据:

权利要求:

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