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申请/专利权人：上海湛为气体有限公司
申请日：2024-04-03
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118236957A
主分类号：B01J19/18
分类号：B01J19/18;B01J19/00;B01D5/00;B01D3/00;C01B33/04
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明公开了一种用于半导体的硅烷的生产工艺及其生产设备，包括以下步骤：S1、首先将硅石研磨成粉末，加入反应釜中，然后向反应釜中通入氢气，加热反应釜，反应釜达到温度后，硅石粉末与氢气发生化学反应，产生硅烷气体，其中釜体在加热反应的同时，通过电机带动搅拌组件对硅石粉末与氢气进行混合，本发明涉及硅烷生产技术领域。该用于半导体的硅烷的生产工艺及其生产设备，氢气通入搅拌轴的空腔后，通过搅拌轴上的多个出气孔均匀散布在内壳体中，同时在搅拌轴的两侧通过支架设置有多个倾斜的舢板，舢板表面开设有多个通孔，由于舢板的面积较大，增加了与原料的接触面积，使得原料混合更加充分均匀，增加了原料的流动性，提升反应效率。
主权项：1.一种用于半导体的硅烷的生产工艺，其特征在于：包括以下步骤：S1、首先将硅石研磨成粉末，加入反应釜中，然后向反应釜中通入氢气，加热反应釜，反应釜达到温度后，硅石粉末与氢气发生化学反应，产生硅烷气体；其中釜体1在加热反应的同时，通过电机2带动搅拌组件对硅石粉末与氢气进行混合；硅烷生产完成后，电动推杆3的输出杆进行收缩，通过锁固机构4将卡杆5移出密封盖6，然后通过密封盖6带动搅拌组件从内壳体7中移出，即可对釜体1与内壳体7之间的夹层、内壳体7以及搅拌组件进行全方位清理；S2、产生的硅烷气体通过管道进入冷凝器8中进行冷却，使其凝结成液体；S3、冷却后进入吸附箱9中，通过吸附箱9中的分子筛与活性炭吸附网对液体硅烷进行过滤，去除其中的杂质；S4、经过吸附箱9过滤后的硅烷液体再通过管道进入蒸馏塔10中进行蒸馏，从而得到高纯度的硅烷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海湛为气体有限公司 一种用于半导体的硅烷的生产工艺及其生产设备
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