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一种空心直角反射镜组的光学装调方法 

申请/专利权人:中国科学院上海技术物理研究所

申请日:2024-04-29

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN118244446A

主分类号:G02B7/182

分类号:G02B7/182;G02B7/198;G02B27/00

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.25#公开

摘要:本发明公开了公开了一种空心直角反射镜组的光学装调方法,为提高空心直角反射镜组中两片反射镜角度差的装调精度,本文利用长焦距平行光管及两个平面元件进行辅助装调,长焦距平行光管进行空心直角反射镜组的精细装调,平面元件进行角度差的三通道测量比对,相互标检,实现了空心直角反射镜组的高精度光学装调。

主权项:1.一种空心直角反射镜组的光学装调方法,包括平行光管1,分光棱镜2,光束分析仪3,空心直角棱镜4,五角棱镜5,角锥棱镜6,平面反射镜7,平行平板8,经纬仪9和632.8nm光纤激光器10。其方法步骤如下:步骤一:所述平行光管1需与分光棱镜2及光束分析仪3配合使用,将光束分析仪3前放置分光棱镜2,再将光束分析仪3的光敏面置于平行光管1焦面处;连接分光棱镜2与632.8nm光纤激光器10,将所述角锥棱镜6置于平行光管1出光口侧,利用角锥棱镜6的自准功能,将经平行光管1准直,角锥棱镜6反射,再经过平行光管1会聚至光束分析仪3的光敏面成像,标记该束光成像的光斑位置即光纤出光点光源的共轭点,关闭激光器;步骤二:将平面反射镜7置于平行光管1出光口侧调整架上并固定,正对平面反射镜7放置经纬仪9,使用经纬仪9测量并粗调平面反射镜7的Y方向角度,将平面反射镜7的Y方向角度调为90°;步骤三:将五角棱镜5置于平面反射镜7反射面一侧,打开632.8nm光纤激光器10,调整平面反射镜7XOZ面旋转角度,使平面反射镜7经平行光管1和五角棱镜5后返回的光斑与共轭点重合,关闭激光器;步骤四:将平行平板8平行放于平面反射镜7对面调整架上,平行平板8镀膜面朝向平面反射镜7镀膜面,且平行平板8与平面反射镜7中间留有一定距离,在平行平板8外侧放置经纬仪9,使用经纬仪9测量平行平板8角度,将平行平板8镀膜面反射回来的十字划线与平面反射镜7镀膜面反射回来的十字划线调至重合;步骤五:在平面反射镜7和平行平板8中间与平行平板8中间放置空心直角棱镜4的其中一面平面镜4-1,打开632.8nm光纤激光器10,调整平面镜4-1位置及角度,使经过平面镜4-1、平面反射镜7透射光和经过平面镜4-1、平行平板8的反射光通过平行光管1返回后与共轭点重合;步骤六:在平面反射镜7和平行平板8中间放置与平面镜4-1成90°的空心直角棱镜4的另一面平面镜4-2,调整平面镜4-2位置及角度,使经过平面镜4-1、平面镜4-2的反射光与经过平面镜4-1、平面镜4-2和平行平板8的透射光以及经过平面镜4-2、平面镜4-1和平面反射镜7的透射光经过平行光管1返回后与共轭点重合即完成空心直角反射镜组的光校。

全文数据:

权利要求:

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