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申请/专利权人：株式会社三丰
申请日：2023-12-20
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118242976A
主分类号：G01B11/00
分类号：G01B11/00
优先权：["20221222 JP 2022-205610"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明提供一种在配置测定对象物时不会导致作业性降低且能够抑制测定精度降低的光学式测定装置。光学式测定装置具备：测定区域，其配置有测定对象物；光束扫描部，其向测定区域照射光束并使光束沿与光束的照射方向交叉的扫描方向进行扫描；受光部，其接收通过了测定区域的光束并输出受光信号；信号处理部，其基于受光信号而输出表示测定对象物的扫描方向上的尺寸的数据；光路罩，其构成为相对于光束扫描部的框体能够装卸并在从框体到测定对象物的范围内覆盖光束的光路。
主权项：1.一种光学式测定装置，其特征在于，具备：测定区域，其配置有测定对象物；光束扫描部，其向所述测定区域照射光束，使所述光束沿与所述光束的照射方向交叉的扫描方向进行扫描；受光部，其接收通过了所述测定区域的所述光束并输出受光信号；信号处理部，其基于所述受光信号，输出表示所述测定对象物的所述扫描方向上的尺寸的数据；光路罩，其构成为相对于所述光束扫描部的框体能够装卸，并且在从所述框体到所述测定对象物的范围内覆盖所述光束的光路。
全文数据：
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