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申请/专利权人：EM实验室株式会社
申请日：2022-10-26
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118265906A
主分类号：G01N22/00
分类号：G01N22/00
优先权：["20211123 JP 2021-189760"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明的介电特性测定方法，在向开放式谐振器装配测定介电特性的试料并调整该试料的位置的步骤中，包括：第一次的测定步骤，通过以第一测定点的个数扫描规定的扫描频率范围而进行第一次的谐振测定；以及第二次以后的测定步骤，包含接续第一次的谐振测定之后的多次的谐振测定，在该多次的谐振测定中的各次测定中，以比第一测定点的个数少的第二测定点的个数扫描基于之前刚进行的谐振测定而设定的扫描频率范围，其中，多次的谐振测定中的第二次的谐振测定的扫描频率范围是基于第一次的谐振测定来设定的。
主权项：1.一种介电特性测定方法，其使用开放式谐振器，为了测定试料的介电特性而调整所述试料的位置，其包括：在所述开放式谐振器未装配所述试料的状态下，取得第一谐振特性的步骤；向所述开放式谐振器装配所述试料，调整所述试料的位置的步骤；在调整了所述试料的位置的状态下，取得第二谐振特性的步骤；以及基于所述第一谐振特性及所述第二谐振特性，算出所述试料的介电特性的步骤，调整所述试料的位置的步骤包括：第一次的测定步骤，通过以第一测定点的个数扫描规定的扫描频率范围而进行第一次的谐振测定；以及第二次以后的测定步骤，其包含接续所述第一次的谐振测定之后的多次的谐振测定，在所述多次的谐振测定的各次测定中，以比所述第一测定点的个数少的第二测定点的个数扫描基于之前刚进行的谐振测定而设定的扫描频率范围，其中，所述多次的谐振测定中的第二次的谐振测定的扫描频率范围是基于所述第一次的谐振测定来设定的。
全文数据：
权利要求：
百度查询： EM实验室株式会社 使用了开放式谐振器的介电特性测定方法及介电特性测定系统
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