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申请/专利权人：广东华升纳米科技股份有限公司
申请日：2024-01-24
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118249614A
主分类号：H02M1/00
分类号：H02M1/00;H02M1/14;H02M9/02;H03K3/57
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本申请涉及一种脉冲磁控溅射电源。该脉冲磁控溅射电源，其特征在于，包括：整流电路，用于与交流电源连接，用于将所述交流电源输出的第一交流信号进行整流以转换为第一直流信号；DCDC转换电路，与所述整流电路连接，用于对所述第一直流信号进行电压转换，以生成第二直流信号；脉冲电路，包括两个脉冲子电路，每一所述脉冲子电路分别与所述DCDC转换电路连接，其中，每一所述脉冲子电路用于根据所述第二直流信号生成单极性脉冲信号。本申请的脉冲磁控溅射电源通过对交流电源输入的交流信号进行三次整流，使直流信号的纹波更平滑，提高了整个电路的响应速度和稳定性。
主权项：1.一种脉冲磁控溅射电源，其特征在于，包括：整流电路，用于与交流电源连接，用于将所述交流电源输出的第一交流信号进行整流以转换为第一直流信号；DCDC转换电路，与所述整流电路连接，用于对所述第一直流信号进行电压转换，以生成第二直流信号；脉冲电路，包括两个脉冲子电路，每一所述脉冲子电路分别与所述DCDC转换电路连接，其中，每一所述脉冲子电路用于根据所述第二直流信号生成单极性脉冲信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东华升纳米科技股份有限公司 脉冲磁控溅射电源
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