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申请/专利权人：信联电子材料科技股份有限公司
申请日：2024-05-22
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118244585A
主分类号：G03F7/16
分类号：G03F7/16
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明涉及光刻胶喷涂技术领域，提出了一种光刻胶稳定喷涂装置，用于对元件进行喷涂，包括存放转运机构，存放转运机构包括底座；转盘转动设置在底座上，转盘上具有间隔分布的一圈通孔；托板有若干个，分别升降设置在若干个通孔的上方，托板上用于存放元件；夹持件，相对于底座升降且移动设置，用于夹持元件进行转运；运输机构位于存放转运机构的一侧，用于运输存放转运机构转运来的元件；喷涂机位于运输机构的一侧，用于喷涂元件。通过上述技术方案，解决了现有技术中中光刻胶喷涂时，人工手动转运晶圆效率低下且易使晶圆受损的问题。
主权项：1.一种光刻胶稳定喷涂装置，用于对元件（1）进行喷涂，其特征在于，包括，存放转运机构（2），所述存放转运机构（2）包括，底座（3）；转盘（4），转动设置在所述底座（3）上，所述转盘（4）上具有间隔分布的一圈通孔（5）；托板（6），有若干个，分别升降设置在若干个所述通孔（5）的上方，所述托板（6）上用于存放所述元件（1）；夹持件（7），相对于所述底座（3）升降且移动设置，用于夹持所述元件（1）进行转运；运输机构（8），位于所述存放转运机构（2）的一侧，用于运输所述存放转运机构（2）转运来的所述元件（1）；喷涂机（9），位于所述运输机构（8）的一侧，用于喷涂所述元件（1）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信联电子材料科技股份有限公司 一种光刻胶稳定喷涂装置
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