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申请/专利权人：三星电子株式会社
申请日：2023-12-12
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118259552A
主分类号：G03F7/16
分类号：G03F7/16
优先权：["20221226 KR 10-2022-0185019"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：一种光刻胶涂覆装置，包括：光刻胶收集罐，临时存储光刻胶；光刻胶供应管道，连接到光刻胶收集罐；泵，连接到光刻胶供应管道；光刻胶加压设备，在泵的后部处连接到光刻胶供应管道；光刻胶循环管道，在光刻胶加压设备的后部处，该光刻胶循环管道将光刻胶供应管道连接到光刻胶收集罐；光刻胶排出管道，在光刻胶循环管道的后部处连接到光刻胶供应管道；光刻胶排出阀，连接到光刻胶排出管道；以及光刻胶排出喷嘴，连接到光刻胶排出阀。
主权项：1.一种光刻胶涂覆装置，包括：光刻胶收集罐，临时存储光刻胶；光刻胶供应管道，连接到所述光刻胶收集罐；泵，连接到所述光刻胶供应管道；光刻胶加压设备，在所述泵的后部处连接到所述光刻胶供应管道；光刻胶循环管道，在所述光刻胶加压设备的后部处，所述光刻胶循环管道将所述光刻胶供应管道连接到所述光刻胶收集罐；光刻胶排出管道，在所述光刻胶循环管道的后部处连接到所述光刻胶供应管道；光刻胶排出阀，连接到所述光刻胶排出管道；以及光刻胶排出喷嘴，连接到所述光刻胶排出阀。
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