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申请/专利权人：武汉大学
申请日：2024-04-03
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118237978A
主分类号：B23Q17/09
分类号：B23Q17/09
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本申请提供了刀具应力温度检测装置及其制备方法，装置包括声表面波器件以及多层关键膜层，声表面波器件包括基底、压电薄膜以及叉指电极；多层关键膜层包括绝缘层以及隔热层，所述绝缘层包括上层绝缘层和下层绝缘层，所述下层绝缘层、所述压电薄膜、所述叉指电极、所述上层绝缘层以及所述隔热层自所述基底上方依次逐层沉积设置。本申请通过多个关键膜层对声表面波器件提供有效的保护并对外界环境起到一定的隔绝作用，具有倾斜c轴取向的压电薄膜在电信号的激励下可以产生两种模式，从而实现对刀具温度和应力的在线监测，结构简单，适配于各种数控机床上的刀具的在线检测。
主权项：1.一种刀具应力温度检测装置，其特征在于，包括：声表面波器件，包括基底、压电薄膜以及叉指电极；多层关键膜层，包括绝缘层以及隔热层，所述绝缘层包括上层绝缘层和下层绝缘层，所述下层绝缘层、所述压电薄膜、所述叉指电极、所述上层绝缘层以及所述隔热层自所述基底上方依次逐层沉积设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉大学 刀具应力温度检测装置及其制备方法
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