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一种感光干膜质量检测方法 

申请/专利权人:新恒汇电子股份有限公司

申请日:2024-05-30

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN118243648A

主分类号:G01N21/31

分类号:G01N21/31;G01N11/06;G01N19/04;G01N1/28

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.25#公开

摘要:本发明公开了一种感光干膜质量检测方法,属于感光干膜质量检测技术领域。一种感光干膜质量检测方法,包括S1、获取感光干膜样品;S2、制备不同浓度的感光干膜溶液;S3、测量感光干膜溶液在紫外和可见光范围内的吸收特性信息;S4、测量感光干膜溶液的分子量;S5、根据感光干膜溶液在紫外和可见光范围内的吸收特性信息与感光干膜溶液的分子量判断感光干膜质量。通过利用紫外和可见吸收光谱与乌氏粘度计对感光干膜组成成分、组成成分含量以及组成成分的分子量的测定,判定同一类型的不同批次感光干膜的解析性、密着性、显影性、去膜性等关键特性稳定,适配当前生产工艺;避免出现感光干膜质量问题,导致显影退膜不净、过显影、不完全电镀等问题。

主权项:1.一种感光干膜质量检测方法,其特征在于:包括:S1、获取感光干膜样品;S2、制备不同浓度的感光干膜溶液;S3、测量感光干膜溶液在紫外和可见光范围内的吸收特性信息;S4、测量感光干膜溶液的分子量;S5、根据感光干膜溶液在紫外和可见光范围内的吸收特性信息与感光干膜溶液的分子量判断感光干膜质量。

全文数据:

权利要求:

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