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申请/专利权人：重庆鹰谷光电股份有限公司
申请日：2023-10-19
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN117672928B
主分类号：H01L21/673
分类号：H01L21/673
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开
摘要：本申请公开了一种开盒方法，用于EFEM开盒的控制，涉及半导体制备技术领域，包括：采集气体数据和温湿度数据；判断气体浓度或气体成分是否超过阈值，如果是则根据预设的第一气体过滤策略进行气体过滤；计算接收的温湿度数据与目标温湿度的偏差，根据偏差通过PID算法生成第一温控策略，根据第一温控策略调节温湿度；计算气体洁净度指标和温湿度稳定性指标；判断指标是否超过阈值，如果是则主控模块基于机器学习模型生成第二气体过滤策略和第二温控策略；判断指标是否满足开盒条件，如果是则发送开盒指令给机械手模块；机械手模块接收并执行开盒指令。针对现有技术中晶圆良率低的问题，本申请通过多级气体过滤、温湿度精确控制等提高晶圆的制造良率。
主权项：1.一种开盒方法，用于EFEM开盒的控制，包括：步骤一，气体监测模块采集包含气体浓度和气体成分的气体数据，并发送给气体控制模块；其中，气体监测模块采集的是EFEM内部气体状态；步骤二，温湿度监测模块采集包含温度和湿度的温湿度数据，并发送给温控模块；步骤三，气体控制模块接收气体数据，判断气体浓度或气体成分是否超过阈值，如果是则根据预设的第一气体过滤策略进行气体过滤，并将气体过滤中的气体数据发送给主控模块；步骤四，温控模块接收温湿度数据，计算接收的温湿度数据与目标温湿度的偏差，根据偏差通过PID算法生成第一温控策略，根据第一温控策略调节温湿度，并将调节过程中的温湿度数据发送给主控模块；步骤五，主控模块接收气体数据和温湿度数据，计算气体稳定性评价指标KPI1和温湿度稳定性指标KPI2；判断指标是否超过阈值，如果是，则调用SVM模型生成的第二气体过滤策略，调用BP网络模型生成第二温控策略，并分别发送给气体控制模块和温控模块；步骤六，气体控制模块接收并根据第二气体过滤策略进行气体过滤；温控模块接收并根据第二温控策略调节温湿度；步骤七，主控模块判断气体稳定性评价指标KPI1和温湿度稳定性指标KPI2是否达到开盒条件，如果是则发送开盒指令给机械手模块；步骤八，机械手模块接收并执行开盒指令。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆鹰谷光电股份有限公司 一种开盒方法
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