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申请/专利权人：细美事有限公司
申请日：2023-12-19
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118259705A
主分类号：G05D22/02
分类号：G05D22/02;H01L21/67
优先权：["20221226 KR 10-2022-0185006"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本申请涉及湿度控制装置、包括其的湿度控制系统以及湿度控制方法，加工空间中的湿度控制装置允许每个加工空间满足唯一的湿度条件，并且包括：注入模块，布置在第二加工空间中，并且配置为将用于形成空气幕的气体注入到第一门上，第二加工空间保持在比其中执行晶片的加工的第一加工空间内的第一湿度低的第二湿度，晶片通过第一门进入和退出，并且第一门连接到第二加工空间；信号生成模块，配置为生成用于注入模块注入气体的注入信号；以及注入控制模块，配置为当生成注入信号时，控制注入模块通过注入气体以形成空气幕，空气幕降低通过由第一门打开的空间流入第二加工空间的湿气的量。
主权项：1.一种加工空间中的湿度控制装置，包括：注入模块，布置在第二加工空间中，并且配置为将用于形成空气幕的气体注入到第一门上，所述第二加工空间保持在比其中执行晶片的加工的第一加工空间内的第一湿度低的第二湿度，所述晶片通过所述第一门进入和退出，并且所述第一门连接到所述第二加工空间；信号生成模块，配置为生成用于所述注入模块注入所述气体的注入信号；以及注入控制模块，配置为当生成所述注入信号时，控制所述注入模块通过注入所述气体以形成所述空气幕，所述空气幕降低通过由所述第一门打开的空间流入所述第二加工空间的湿气的量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 湿度控制装置、包括其的湿度控制系统以及湿度控制方法
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