申请/专利权人：西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

申请日：2024-03-04

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN117835688B

主分类号：H05K13/04

分类号：H05K13/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.25#授权;2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种拾取头自动切换装置，主要解决手动更换拾取头存在的生产效率低、拾取动作的重复一致性差的技术问题。本装置包括吸附机构、拾取头和放置架，吸附机构包括连接架、旋转动力件和安装座，安装座内设有第一气腔，拾取头包括主体部和吸嘴，主体部和吸嘴开设有气道，气道的上端连通第一气腔，主体部的侧壁上部设有第一挡圈，主体部的侧壁下部设有第二挡圈，第一挡圈与第二挡圈之间留有安装部，放置架包括悬臂条板，悬臂条板开设有安装缺口。本装置能够代替人工实现拾取头的自动切换，大幅提高了工作效率，且通过设备精度能够保证拾取动作的重复一致性，从而能够满足全自动多芯片设备的贴片工艺要求。

主权项：1.一种拾取头自动切换装置，其特征在于，包括：吸附机构（1），其包括连接架（11）、旋转动力件（12）和安装座（13），所述连接架（11）适于固定连接贴片设备的机械臂，所述旋转动力件（12）的固定部固定连接在所述连接架（11）上，所述旋转动力件（12）的输出轴竖直朝下布置，所述安装座（13）与所述旋转动力件（12）的输出轴下端固定连接，所述安装座（13）内设有延伸至其下表面的第一气腔（131）；拾取头（2），其包括主体部（21）和吸嘴（22），所述主体部（21）适于吸附连接在所述安装座（13）的下方，所述吸嘴（22）固定连接在所述主体部（21）的下方，所述主体部（21）和吸嘴（22）开设有气道（23），所述气道（23）的下端延伸至所述吸嘴（22）的气孔，所述气道（23）的上端适于在所述主体部（21）吸附于所述安装座（13）上时密封连通所述第一气腔（131），所述主体部（21）的侧壁上部设有第一挡圈（211），所述主体部（21）的侧壁下部设有第二挡圈（212），所述第一挡圈（211）与第二挡圈（212）之间留有安装部（213）；放置架（3），其包括悬臂条板（31），所述悬臂条板（31）沿其长度方向开设有多个安装缺口（311），所述安装缺口（311）的宽度与所述安装部（213）的直径适配，所述安装缺口（311）的高度小于所述安装部（213）的高度；所述安装座（13）包括芯轴（132）和安装盘（133），所述芯轴（132）固定连接在所述旋转动力件（12）的输出轴下端且同轴布置，所述安装盘（133）固定于所述芯轴（132）的下端且适于吸附所述主体部（21），所述吸附机构（1）还包括空气轴承（14），所述空气轴承（14）包括内轴套（141）、外轴套（142）、密封圈（143）、第一气源接头（146）和第二气源接头（147），所述内轴套（141）固定套接在所述芯轴（132）的外侧，所述外轴套（142）与所述连接架（11）固定连接，所述外轴套（142）与内轴套（141）之间形成气隙，所述密封圈（143）套接在所述内轴套（141）上且设有至少一个，所述密封圈（143）将所述气隙分隔且至少形成第一密闭区（144）和第二密闭区（145），所述第一气源接头（146）设于所述外轴套（142）上且与所述第一密闭区（144）连通，所述第二气源接头（147）设于所述外轴套（142）上且与所述第二密闭区（145）连通，且所述第二密闭区（145）通过开设于所述内轴套（141）和芯轴（132）上的第一连通孔与所述第一气腔（131）连通；所述主体部（21）与安装盘（133）通过磁吸和负压吸附实现双重吸附连接；所述主体部（21）与安装盘（133）吸附时密封相接以在两者之间形成密闭区域，所述安装座（13）内设有下端延伸至所述密闭区域的第二气腔（134），所述第二气腔（134）与第一气腔（131）相隔，所述密封圈（143）设有至少两个，所述密封圈（143）将所述气隙分隔且至少形成第一密闭区（144）、第二密闭区（145）和第三密闭区（148），所述空气轴承（14）还包括第三气源接头（149），所述第三气源接头（149）设于所述外轴套（142）上且与所述第三密闭区（148）连通，所述第三密闭区（148）通过开设于所述内轴套（141）和芯轴（132）上的第二连通孔与所述第二气腔（134）连通；所述第一气腔（131）位于所述安装盘（133）的中心处，所述第二气腔（134）设有呈环形阵列分布的多个且均布在所述第一气腔（131）的周围，所述安装盘（133）的下表面还固定连接有呈环形阵列分布的多个磁铁（135），多个磁铁（135）均布在所述第二气腔（134）的周围。

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百度查询： 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) 拾取头自动切换装置

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