申请/专利权人：华南理工大学

申请日：2024-04-18

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN118067740B

主分类号：G01N21/95

分类号：G01N21/95;G01N27/9093

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.25#授权;2024.06.11#实质审查的生效;2024.05.24#公开

摘要：本发明涉及滤波器晶圆检测技术领域，尤其涉及一种用于滤波器的光测、电测检测设备，包括采用光线照射滤波器晶圆上表面，采集滤波器晶圆的上表面图像，根据滤波器晶圆瑕疵的第一置信度确定对滤波器晶圆瑕疵的标记，采用光线照射滤波器晶圆下表面，采集滤波器晶圆的上表面图像，根据滤波器晶圆瑕疵的第二置信度确定对滤波器晶圆瑕疵的标记，对滤波器晶圆进行涡流检测，根据滤波器晶圆的电阻率图被分类为标准电阻率图的概率确定对滤波器晶圆瑕疵的标记，根据滤波器晶圆瑕疵评价值确定对所述滤波器晶圆瑕疵的标记，本发明克服了现有技术中由于滤波器晶圆的瑕疵检测方法单一，导致对于滤波器晶圆的瑕疵检测的精确度差的问题。

主权项：1.一种用于滤波器的光测、电测检测设备，其特征在于，包括：发光托盘，其设置在XY轴位移平台上，用以承载滤波器晶圆，并根据设置在所述发光托盘内部的近红外光光源产生光线照射滤波器晶圆下表面；LED光源，其设置在所述发光托盘的上方，用以产生光线照射滤波器晶圆上表面；显微镜，其设置在所述LED光源右侧，用以采集滤波器晶圆的上表面图像；涡流传感器，其设置在显微镜的右侧，用以对滤波器晶圆进行涡流检测；控制单元，其用以控制所述光测、电测检测设备对滤波器晶圆的瑕疵进行标记；所述控制单元控制所述LED光源采用光线照射滤波器晶圆上表面，控制所述显微镜采集滤波器晶圆的上表面图像，对采集到的上表面图像采用目标检测模型进行目标检测，根据滤波器晶圆瑕疵的第一置信度确定对所述滤波器晶圆瑕疵的标记，或确定对滤波器晶圆进行初次判定；所述控制单元根据所述第一置信度与第一预设置信度的第一相对差确定对滤波器晶圆进行初次判定的判定方式；所述控制单元控制所述发光托盘采用光线照射滤波器晶圆下表面，控制所述显微镜采集滤波器晶圆的上表面图像，对采集到的上表面图像采用目标检测模型进行目标检测，所述控制单元根据滤波器晶圆瑕疵的第二置信度确定对所述滤波器晶圆瑕疵的标记，或确定对所述滤波器晶圆瑕疵进行二次判定；或，对滤波器晶圆进行涡流检测，采用卷积神经网络对滤波器晶圆的电阻率图进行分类，根据滤波器晶圆的电阻率图被分类为标准电阻率图的概率确定对所述滤波器晶圆瑕疵的标记；所述控制单元根据所述第二置信度与第二预设置信度的第二相对差确定是否计算滤波器晶圆瑕疵评价值，以根据所述滤波器晶圆瑕疵评价值确定对所述滤波器晶圆瑕疵的标记，或确定对第一预设相对差的调整；所述控制单元在所述第一置信度大于第一预设置信度的条件下确定对所述滤波器晶圆瑕疵进行标记，在所述第一置信度小于等于第一预设置信度的条件下确定对滤波器晶圆进行初次判定；所述控制单元在所述第一相对差小于等于第一预设相对差的条件下确定采用光线照射滤波器晶圆下表面，采集滤波器晶圆的上表面图像，对采集到的上表面图像采用目标检测模型进行目标检测，根据滤波器晶圆瑕疵的第二置信度确定对所述滤波器晶圆瑕疵的标记；所述控制单元在所述第一相对差大于第一预设相对差的条件下确定对滤波器晶圆进行涡流检测，采用卷积神网络对滤波器晶圆的电阻率图进行分类，根据滤波器晶圆的电阻率图被分类为标准电阻率图的概率确定对所述滤波器晶圆瑕疵的标记；所述控制单元在第二置信度大于第二预设置信度的条件下确定对所述滤波器晶圆瑕疵进行标记，在第二置信度小于等于第二预设置信度的条件下确定对所述滤波器晶圆瑕疵进行二次判定；所述控制单元在所述第二相对差小于等于第二预设相对差的条件下确定计算滤波器晶圆瑕疵评价值；所述滤波器晶圆瑕疵评价值根据以下公式计算，设定 ；其中，P表示滤波器晶圆瑕疵评价值，D1表示所述第一置信度，D2表示所述第二置信度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华南理工大学 一种用于滤波器的光测、电测检测设备

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