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申请/专利权人：大连理工大学
申请日：2020-10-15
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN112133165B
主分类号：G09B23/06
分类号：G09B23/06;G09B23/18
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2021.01.12#实质审查的生效;2020.12.25#公开
摘要：本发明公开一种直线等离子体实验装置，包括等离子体源、等离子体源室、辅助加热室、靶室、材料分析交换室和送样单元，等离子体源室、辅助加热室、靶室和材料分析交换室均连接有分子泵；等离子体源、等离子体源室、辅助加热室和靶室的外部均设置磁体线圈；辅助加热室内设置天线，天线连接有加热电源，天线为能够允许等离子束穿过的环形，天线固定于辅助加热室的内壁上。本发明的直线等离子体实验装置，具备等离子体实验功能，在等离子体源室与靶室之间设置了辅助加热室，能够对等离子体源产生的等离子体进行二次加热，提供的环境能够充分研究等离子体在整个刮削层和偏滤器中的输运、脱靶、杂质注入和粒子再循环等物理过程。
主权项：1.一种直线等离子体实验装置，其特征在于：包括等离子体源、等离子体源室、辅助加热室、靶室、材料分析交换室和送样单元，所述等离子体源与所述等离子体源室相连，所述等离子体源能够产生等离子体束，等离子体束能够进入所述等离子体源室内，所述等离子体源室、所述辅助加热室和所述靶室顺次相连通，所述等离子体源设置于所述等离子体源室远离所述辅助加热室的一侧，所述送样单元与所述材料分析交换室相连通，所述材料分析交换室与所述靶室相连通，所述等离子体源室、所述辅助加热室、所述靶室和所述材料分析交换室均为真空腔室，所述等离子体源室、所述辅助加热室、所述靶室和所述材料分析交换室均连接有分子泵；所述等离子体源、所述等离子体源室、所述辅助加热室和所述靶室的外部均设置磁体线圈；所述辅助加热室内设置天线，所述天线连接有加热电源，所述天线为能够允许等离子束穿过的环形，所述天线固定于所述辅助加热室的内壁上；所述天线与所述辅助加热室同轴设置，所述天线为空心圆柱状；所述加热电源连接有匹配器，所述匹配器利用同轴电缆与所述天线相连，所述同轴电缆穿过所述辅助加热室处设置法兰窗口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大连理工大学 一种直线等离子体实验装置
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