申请/专利权人：江苏正帆半导体设备有限公司;上海正帆科技股份有限公司

申请日：2022-03-16

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN114636101B

主分类号：F17C7/00

分类号：F17C7/00;F17C13/08;F17D1/02;F17D5/06;F17D3/01;A62C31/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.25#授权;2022.07.05#实质审查的生效;2022.06.17#公开

摘要：本申请涉及一种气体输送设备，本申请的气体输送设备包括：柜体、气体输送装置、控制装置以及气体侦测装置，柜体设有出气口；气体输送装置设于柜体内，用于向出气口输送气体；气体侦测装置设于柜体外表面，用于检测气体输送装置是否漏气；控制装置设于柜体，并与气体输送装置和气体侦测装置电性连接。故本申请通过将气体输送装置内置于柜体中，利于移动，减小了占地空间。另外本申请通过增设控制装置和气体侦测装置，提高了气体输送设备的自动化程度，不仅可以自动控制气体输送，而且可以检测漏气，一旦气体侦测装置监测到漏气会报警并停止供气，提高了实验安全性。

主权项：1.一种气体输送设备，其特征在于，包括：柜体，设有出气口；气体输送装置，设于所述柜体内，用于向所述出气口输送气体；气体侦测装置，设于所述柜体外表面，用于检测所述气体输送装置是否漏气；以及控制装置，设于所述柜体，并与所述气体输送装置和所述气体侦测装置电性连接；所述气体输送装置包括：第一气瓶和第二气瓶；供气模块，连接所述第一气瓶和所述出气口，用于将所述第一气瓶中的气体输送至所述出气口；吹扫模块，连接所述第二气瓶和所述供气模块，用于将所述第二气瓶中的气体输送至所述出气口以进行吹扫；尾气处理模块，连接所述供气模块和所述吹扫模块，用于承接所述吹扫模块和所述供气模块的排放气体以进行尾气处理；所述供气模块、所述吹扫模块和所述尾气处理模块均设有多个阀体，所述多个阀体集成电磁阀组；其中，所述控制装置通过所述电磁阀组与所述气体输送装置连接；所述气体输送装置还包括：辅助用气模块，连接所述第二气瓶和所述电磁阀组，用于为所述电磁阀组供气；所述辅助用气模块包括：依次连接的驱动气源高压手阀、驱动气源调压阀和驱动气源低压手阀；其中，所述驱动气源高压手阀的输入端连接所述第二气瓶，所述驱动气源低压手阀的输出端连接所述电磁阀组；所述吹扫模块包括：第一支路，包括依次连接的第二气瓶测压器、吹扫过滤器垫片和吹扫高压手阀；第二支路，包括依次连接的吹扫调压阀、吹扫微漏阀、第一吹扫单向阀和吹扫气阀；第三支路，包括依次连接的保压调压阀和保压气阀；以及第四支路，包括依次连接的吹扫测压器、第二吹扫单向阀和高压吹扫气阀；其中，所述第一支路的输入端与所述第二气瓶相连；所述第一支路的输出端与所述第二支路的输入端和所述第三支路的输入端相连；所述第四支路的输入端与所述第二支路的输出端和所述第三支路的输出端相连；所述第四支路的输出端与所述供气模块相连；气体侦测装置包括进风口、出风口、风阀以及侦测器，所述进风口和所述出风口均设于柜体的外表面，所述风阀设于出风口，所述侦测器设于所述柜体的外表面；所述风阀与外界气泵连接，通过所述外界气泵、所述进风口、所述出风口以及所述风阀对所述柜体进行抽气，所述侦测器设于所述出风口或者所述风阀的进出口处，用于检测所述风阀所抽气体的成分，从而根据所述风阀所抽气体的成分是否包含所述第一气瓶和所述第二气瓶所存储的气体，判断所述气体输送装置是否漏气；所述供气模块包括：依次连接的供气高压测压器、供气过滤器垫片、供气高压气阀、供气调压阀、供气低压测压器、供气过流保护器、供气过滤器、供气低压气阀和供气低压手阀；其中，所述供气高压测压器的输入端连接所述第一气瓶，所述供气低压手阀的输出端连接所述出气口；所述柜体具有相对设置的第一表面和第二表面以及衔接所述第一表面和第二表面的侧表面；其中，所述出气口设于所述第一表面，所述侧表面上设有至少一个车轮、至少一个开门和或至少一个扶手。

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