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申请/专利权人：鑫天虹(厦门)科技有限公司
申请日：2021-01-12
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN114752919B
主分类号：C23C16/455
分类号：C23C16/455;B82Y40/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2022.08.02#实质审查的生效;2022.07.15#公开
摘要：本发明提供一种防止粉末沾粘的粉末原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元通过轴封装置连接并驱动真空腔体转动。一抽气管线及至少一进气管线设置在轴封装置内，并将一过滤单元设置在轴封装置连接真空腔体的反应空间的一端。抽气管线经由过滤单元抽出反应空间内的气体，而进气管线则经由过滤单元将前驱物气体或非反应气体输送至反应空间。进气管线输送非反应气体的状态包括一搅动状态及一防止沾粘状态，其中防止沾粘状态时进气管线输出的非反应气体的流量小于搅拌状态，并可避免粉末沾粘在过滤单元上。
主权项：1.一种防止粉末沾粘的粉末原子层沉积装置，其特征在于，包括：一真空腔体，包括一反应空间用以容置复数个粉末；一轴封装置，连接该真空腔体；其中该轴封装置包括一外管体及一内管体，该管体及内管体同轴设置，该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体；一驱动单元，通过该外管体连接该真空腔体，并经由该外管体带动该真空腔体转动；并且该驱动单元并未连接该内管体，该驱动单元带动外管体及真空腔体转动时，该内管体不会随着转动；一过滤单元，位于该轴封装置连接该真空腔体的该反应空间的一端；至少一抽气管线，位于该轴封装置内，并经由该过滤单元流体连接该真空腔体的该反应空间，以抽出该反应空间内的一气体；至少一搅动气体输送管线，位于该轴封装置内，并经由该过滤单元将一搅动气体输送至该反应空间，以吹动该反应空间内的该粉末；及至少一进气管线，位于该轴封装置内，并经由该过滤单元将一前驱物气体或一非反应气体输送至该反应空间，其中该搅动气体输送管线将该搅动气体输送该反应空间时，该进气管线会将该非反应气体输送至该反应空间，并且该至少一抽气管线、该至少一搅动气体输送管线及该至少一进气管线位于该内管体内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 鑫天虹(厦门)科技有限公司 防止粉末沾粘的粉末原子层沉积装置
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