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申请/专利权人：东莞新科技术研究开发有限公司
申请日：2022-12-27
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263147A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/683
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明的晶圆的粘接方法，包括以下步骤：晶圆置于加热装置上；在所述晶圆的加热状态下，向所述晶圆的待粘面喷涂熔融的聚乙烯蜡；从所述加热装置移除所述晶圆，所述晶圆的待粘面借助所述聚乙烯蜡被部分粘接于机台的预定面，并在所述晶圆的待粘面和所述机台的预定面之间注入固化胶。本发明可减少晶圆在后续工序中发生碎裂或损伤的可能。
主权项：1.一种晶圆的粘接方法，包括以下步骤：晶圆置于加热装置上；在所述晶圆的加热状态下，向所述晶圆的待粘面喷涂熔融的聚乙烯蜡；从所述加热装置移除所述晶圆，所述晶圆的待粘面借助所述聚乙烯蜡被部分粘接于机台的预定面，并在所述晶圆的待粘面和所述机台的预定面之间注入固化胶。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞新科技术研究开发有限公司 晶圆的粘接方法
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