龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：苏州桔云科技有限公司
申请日：2024-03-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263163A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/677
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明实施例公开了一种晶圆加热装置。其包括机架、加热模块、储存模块、冷却模块以及移动模块，加热模块、冷却模块及移动模块设于机架内，储存模块设于机架的一侧。通过将加热模块、冷却模块及移动模块设于机架内，储存模块设于机架的一侧，移动模块取出晶圆容器内的晶圆，并将晶圆放入加热腔室内，再利用循环热风组件对晶圆进行加热以充分利用能源，减少能源浪费；晶圆完成加热后再利用移动模块取出完成加热的晶圆并放入冷却腔室内进行冷却，晶圆完成冷却后再利用移动模块取出完成冷却的晶圆并放入原先的晶圆容器内，从而实现自动化的加热晶圆。
主权项：1.一种晶圆加热装置，其特征在于，所述装置包括：机架1；加热模块2，设于所述机架1内，所述加热模块2具有热风循环组件以及加热腔室21，所述加热腔室21用于放置晶圆，所述热风循环组件与所述加热腔室21相连通，便于向所述加热腔室21内通入循环热风以加热所述加热腔室21内的晶圆；储存模块3，设于所述机架1外的一侧，所述储存模块3具有可移动的晶圆容器31，所述晶圆容器31用于储存晶圆；冷却模块4，用于冷却晶圆，所述冷却模块4设于所述机架1内，且所述冷却模块4具有冷却腔室41，所述冷却腔室41用于放置晶圆；移动模块5，设于所述机架1内，适于在所述晶圆容器31、所述加热腔室21及所述冷却腔室41中的任意两者之间搬运晶圆。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州桔云科技有限公司 一种晶圆加热装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号