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申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
申请日：2023-11-03
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221239126U
主分类号：G02B13/00
分类号：G02B13/00;G02B13/12;G02B7/00;H01L21/66;G01N21/88;G01N21/01
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本申请涉及一种物镜组件及晶圆检测装置，所述物镜组件应用于晶圆检测装置，所述晶圆检测装置用于检测待检测样品，所述物镜组件包括：物镜及热流罩，所述物镜具有通光孔，所述物镜用于放大部分所述待检测样品；所述热流罩套设于所述物镜的外周，所述热流罩包括可视部，所述可视部与所述通光孔至少部分层叠。所述物镜组件具有较好的成像效果。
主权项：1.一种物镜组件，其特征在于，应用于晶圆检测装置，所述晶圆检测装置用于检测待检测样品，所述物镜组件包括：物镜，所述物镜具有通光孔，所述物镜用于放大部分所述待检测样品；以及热流罩，所述热流罩套设于所述物镜的外周，所述热流罩包括可视部，所述可视部与所述通光孔至少部分层叠。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市森美协尔科技有限公司 物镜组件及晶圆检测装置
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