申请/专利权人：重庆大学

申请日：2022-04-11

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN114720502B

主分类号：G01N23/2251

分类号：G01N23/2251

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.25#授权;2022.07.26#实质审查的生效;2022.07.08#公开

摘要：本发明公开一种用于微观形貌观测的阵列式定位方法及装置，由探测设备接触样品获取前置定位信息，通过计算机辅助系统搭建坐标系，通过扫描电子显微镜进行前置观测并记录前置观测的坐标区域；通过计算机辅助系统对比定位信息的数据差，通过探测设备推动样品移动，使移动后的位置与前置定位信息的位置对应；装置包括基座，基座上端设有放置腔，放置腔四周设有导轨，导轨中设有导块，导块上安装探测设备，探测设备在基座上呈对称象限分布，以期望改善扫描电子显微镜的成像范围广，且成像定位具有一定的延迟和滞后性，在观测过程中无法有效的确定其观测区域，特别是在对腐蚀反应发生的原因鉴别处理并不高效的问题。

主权项：1.一种用于微观形貌观测的阵列式定位方法，所述方法用于扫描电子显微镜在连续性观察的定位，其特征在于：通过探测设备在样品四周象限分布，由探测设备接触样品获取前置定位信息，再通过计算机辅助系统搭建坐标系，通过扫描电子显微镜进行前置观测并记录前置观测的坐标区域；待样品取下再安装时，通过探测设备再次接触样品采集后置定位信息，通过计算机辅助系统对比后置定位信息与前置定位信息的数据差，并通过探测设备推动样品移动，使移动后的位置与前置定位信息的位置对应，再用扫描电子显微镜对样品进行后置观测，使后置观测与前置观测坐标区域相同；通过探测设备在样品四周象限分布，由探测设备接触样品获取前置定位信息，再通过计算机辅助系统搭建坐标系，通过扫描电子显微镜进行前置观测并记录前置观测的坐标区域；其中，探测设备分布是以样品放置区域为中点，并均匀分布在放置区域周围的四个象限中，且探测设备为四个，通过探测设备对样品形成对点关系，从而四个探测设备接触样品后，可以通过探测设备的前后相对移动，使探测设备挪动样品，而未移动的探测设备5具有限位作用；所述样品取下再安装时，通过探测设备再次接触样品采集后置定位信息，通过计算机辅助系统对比后置定位信息与前置定位信息的数据差，并通过探测设备推动样品移动，使移动后的位置与前置定位信息的位置对应，再扫描电子显微镜对样品进行后置观测，使后置观测与前置观测坐标区域相同；所述探测设备第一次接触样品后，其四个探测设备的位置分别被记录，当样品再次安装后，需要保证样品的观察角度，所述样品一般为规则形状物体，其观测角度可通过基准面进行定位；通过探测设备再次接触样品，获得后置定位信息与前置定位信息的数据差；所述前置定位信息包括X轴和Y轴的定位信息；且X轴和Y轴至少具有一组相互对称的探测设备，所述样品的移动由两个相对的探测设备同步进行；其中X轴的定位信息由两个相互对称的探测设备同时采集到，Y轴的定位信息也由两个探测设备同时采集到；所述定位信息由每个探测设备的参数特征共同获得，且所述定位信息至少包括四个特征参数，为X轴和Y轴至少两个特征参数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 重庆大学 用于微观形貌观测的阵列式定位方法及装置

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