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一种中低速悬浮传感器测试装置 

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申请/专利权人:上海仁昊电子科技有限公司

摘要:本实用新型提出一种中低速悬浮传感器测试装置,其特征在于,包括:立板和两个工作台,其中,立板上设置有第一驱动组件和光栅位移传感器,第一驱动组件上设置有安装件,第一驱动组件驱动安装件做升降运动;光栅位移传感器的检测端与安装件相连,两个工作台分别通过两个第二驱动组件与安装件相连,第二驱动组件驱动相应的工作台做水平运动,由此,自动化程度高,能够对悬浮传感器进行准确高效的检测、标定。

主权项:1.一种中低速悬浮传感器测试装置,其特征在于,包括:立板和两个工作台,其中,所述立板上设置有第一驱动组件和光栅位移传感器,所述第一驱动组件上设置有安装件,所述第一驱动组件驱动所述安装件做升降运动;所述光栅位移传感器的检测端与所述安装件相连,两个所述工作台分别通过两个第二驱动组件与所述安装件相连,所述第二驱动组件驱动相应的所述工作台做水平运动。

全文数据:

权利要求:

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