申请/专利权人:珠海中京半导体科技有限公司
申请日:2023-11-16
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN221225322U
主分类号:G03F7/30
分类号:G03F7/30
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.25#授权
摘要:本实用新型提供一种应用于IC载板垂直显影线的挂具,涉及IC载板生产技术领域,包括底置架,底置架的两侧均是镂空的,底置架顶端的中部卡接有底卡板,底卡板的两侧均卡接有担架,担架的内部活动连接有伸缩臂,伸缩臂的顶部卡接有顶卡板,顶卡板底部的两侧均开设有插口,现使用挂具构成框架替代夹子底座,并减小夹柄体积,可有效降低药水残留量,将夹子对应的挂具位置改造为镂空结构,挂具在通过吹干段时,热风可从镂空位置穿过,将夹子位置残留的药水彻底清洁干净,传统挂具每个框架均搭配8个不锈钢夹子,合计重量约2kg,增加了挂具的整体重量,对挂具导轨有的摩擦损耗,新挂具取消传统的夹子。
主权项:1.一种应用于IC载板垂直显影线的挂具,包括底置架1,其特征在于:所述底置架1的两侧均是镂空的,所述底置架1顶端的中部卡接有底卡板5,所述底卡板5的两侧均卡接有担架4,所述担架4的内部活动连接有伸缩臂10,所述伸缩臂10的顶部卡接有顶卡板11,所述顶卡板11底部的两侧均开设有插口13。
全文数据:
权利要求:
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