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研磨振幅检查装置及检查系统 

申请/专利权人:郑州旭飞光电科技有限公司;东旭科技集团有限公司

申请日:2023-11-07

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN221211271U

主分类号:B24B49/12

分类号:B24B49/12;B24B41/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.25#授权

摘要:本公开提供一种研磨振幅检查装置及检查系统,涉及基板玻璃生产制造技术领域。该研磨振幅检查装置,包括:检查盒、光源组件、多个反光镜和相机;检查盒内部具有容置空间,检查盒的一侧开设有检查口,检查口沿第一方向延伸且与容置空间连通;光源组件设置于容置空间且与检查口间隔预设距离;多个反光镜分别设置于容置空间且位于检查口的不同侧部,多个反光镜包括第一反光镜,多个反光镜的反射面互相之间形成预设角度;相机设置于容置空间,相机的镜头的拍摄方向垂直于第一方向且与第一反光镜的第一反射面之间形成第一角度,以使镜头拍摄第一反射面。本公开结构简单,性能可靠,可以实现对基板玻璃的边缘被研磨处的全方位高效率且高精度的检查。

主权项:1.一种研磨振幅检查装置,其特征在于,包括:检查盒1,其内部具有容置空间101,所述检查盒1的一侧开设有检查口,所述检查口沿第一方向X延伸且与所述容置空间101连通;光源组件,设置于所述容置空间101且与所述检查口间隔预设距离;多个反光镜,分别设置于所述容置空间101且位于所述检查口的不同侧部,所述多个反光镜包括第一反光镜301,所述多个反光镜的反射面互相之间形成预设角度;和相机4,设置于所述容置空间101,所述相机4的镜头的拍摄方向为第二方向Y,所述第二方向Y垂直于所述第一方向X且与所述第一反光镜301的第一反射面之间形成第一角度,以使所述镜头拍摄所述第一反射面。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 郑州旭飞光电科技有限公司;东旭科技集团有限公司 研磨振幅检查装置及检查系统

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