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一种全无机柔性透气SiO2@SnO2松针状纤维膜气体敏感材料及其制备方法 

申请/专利权人:陕西师范大学

申请日:2024-04-03

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN118256875A

主分类号:C23C14/18

分类号:C23C14/18;D04H1/4209;D04H1/728;G01N27/12;C23C14/34

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.28#公开

摘要:本发明公开了一种全无机柔性透气SiO2@SnO2松针状纤维膜气体敏感材料及其制备方法,先采用静电纺丝法制备出Si电纺丝纤维膜;通过对Si电纺丝纤维膜进行高温煅烧,得到柔性极好的非晶SiO2纳米纤维膜;然后采用离子溅射法在非晶SiO2纳米纤维膜表面沉积上一层薄薄的Au膜;再通过化学气相沉积的方法在非晶SiO2纳米纤维表面生长出类似松针状的SnO2纳米线,得到具有高柔性、高透气性和耐高温特性的全无机SiO2@SnO2松针状纤维膜。通过在其表面镀上电极后可以制备成全无机柔性透气SiO2@SnO2纤维膜气体传感器,该气体传感器表现出极好的柔性、耐高温性和室温NO2敏感性能。

主权项:1.一种全无机柔性透气SiO2@SnO2松针状纤维膜气体敏感材料的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:步骤1:将蒸馏水、正硅酸四乙酯和磷酸混合搅拌至正硅酸四乙酯完全溶解,再加入聚乙烯醇水溶液搅拌均匀,得到Si溶胶;对Si溶胶进行静电纺丝,得到Si电纺丝膜;将Si电纺丝膜进行煅烧,得到非晶SiO2纳米纤维膜;步骤2:采用离子溅射法在步骤1得到的非晶SiO2纳米纤维膜表面镀Au;步骤3:将Sn粉置于一端开口的石英管底部,并将步骤2镀Au后的非晶SiO2纳米纤维膜放入所述石英管中,然后将石英管装入管式炉中,通入氧气与氩气的混合气体,在真空状态下进行热处理,热处理完后自然冷却到室温,得到全无机柔性透气SiO2@SnO2松针状纤维膜气体敏感材料。

全文数据:

权利要求:

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