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一种石英腔体的降温装置 

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申请/专利权人:芯纳百川(无锡)半导体科技有限公司

摘要:本申请属于石英腔体降温技术领域,公开了一种石英腔体的降温装置,包括:底板、第一L型板、第二L型板和石英腔体本体,第一L型板和第二L型板分别通过螺钉安装在底板顶部的两端,石英腔体本体安装在第一L型板和第二L型板之间。本申请通过在石英腔体本体的一侧设置风冷组件,利用风冷组件能够对处于室温状态下的空气进行降温处理,使其进入石英腔体本体内部之后的初始温度低于室温,从而利用对流的冷空气带走石英腔体本体内部在工作时产生的热量,进而避免了传统操作中利用室温的空气进行降温处理的方式,进一步的提高了设备对石英腔体本体的降温效果,有利于实际的应用与操作。

主权项:1.一种石英腔体的降温装置,其特征在于,包括:包括底板1、第一L型板2、第二L型板3和石英腔体本体4,所述第一L型板2和第二L型板3分别通过螺钉安装在底板1顶部的两端,所述石英腔体本体4安装在第一L型板2和第二L型板3之间,其特征在于,所述底板1的顶部且位于第一L型板2与第二L型板3之间安装有蓄水盒5,所述蓄水盒5的内部盛放有水;所述石英腔体本体4的一端且位于第二L型板3的一侧设置有风冷组件,所述底板1的顶部且位于蓄水盒5的一侧设置有抽吸组件,所述第一L型板2与第二L型板3的顶部之间设置有喷淋组件,所述喷淋组件在石英腔体本体4的上方进行左右往复运动,所述第一L型板2的一侧设置有传动组件;所述风冷组件用于对空气进行降温处理,并将经过降温处理之后的空气输送至石英腔体本体4的内部,所述传动组件用于配合喷淋组件的左右往复运动带动抽吸组件进行运作,所述抽吸组件用于将蓄水盒5内部的水反复输送至喷淋组件的内部。

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权利要求:

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