申请/专利权人：兰州空间技术物理研究所

申请日：2024-05-31

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN118258541A

主分类号：G01L11/02

分类号：G01L11/02;G01L19/00;G01N21/39;G01N21/01

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.06.28#公开

摘要：本申请涉及一种可调谐激光二极管真空分压力测量方法及装置。所述方法包括：通过可调谐二极管激光器射出真空分压力测量的激光，所述激光包括第一路激光、第二路激光和第三路激光；根据所述第一路激光和光谱信号支路，得到所述真空分压力测量的探测光强信号；根据所述第二路激光、所述第三路激光、所述探测光强信号、所述光谱信号支路上的高速数据采集卡、触发信号支路和辅助支路，得到所述真空分压力测量的吸收峰光谱数据；根据所述吸收峰光谱数据和分压力反演算法，反演出所述真空分压力测量的目标气体分压力值。本申请提供了一种新的可调谐激光二极管真空分压力测量方法，具有极其准确的光谱采样间隔，有利于进一步提高真空分压力测量精度。

主权项：1.一种可调谐激光二极管真空分压力测量方法，其特征在于，包括以下步骤：通过可调谐二极管激光器射出真空分压力测量的激光，所述激光包括第一路激光、第二路激光和第三路激光；根据所述第一路激光和光谱信号支路，得到所述真空分压力测量的探测光强信号；根据所述第二路激光、所述第三路激光、所述探测光强信号、所述光谱信号支路上的高速数据采集卡、触发信号支路和辅助支路，得到所述真空分压力测量的吸收峰光谱数据；根据所述吸收峰光谱数据和分压力反演算法，反演出所述真空分压力测量的目标气体分压力值；其中，所述根据所述第二路激光、所述第三路激光、所述探测光强信号、所述光谱信号支路上的高速数据采集卡、触发信号支路和辅助支路，得到所述真空分压力测量的吸收峰光谱数据，包括：根据所述第三路激光和所述辅助支路，确定所述真空分压力测量的拍频信号；根据所述拍频信号、所述第二路激光、所述探测光强信号、所述光谱信号支路上的高速数据采集卡和所述触发信号支路，得到所述真空分压力测量的吸收峰光谱数据；所述根据所述第三路激光和所述辅助支路，确定所述真空分压力测量的拍频信号，包括：将所述第三路激光与光学频率梳的梳状频谱进行频率比对，得到所述真空分压力测量的频率比对信号；将所述频率比对信号经第二光电探测器进行转化，确定所述真空分压力测量的拍频信号；将所述光学频率梳和所述第二光电探测器作为所述辅助支路的元件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 兰州空间技术物理研究所 一种可调谐激光二极管真空分压力测量方法及装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD