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申请/专利权人：常州卓旻精密机械科技有限公司
申请日：2024-05-31
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118257870A
主分类号：F16K3/06
分类号：F16K3/06;F16K3/314;F16K3/30;F16K27/04;F16K31/04
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供了一种用于真空镀膜腔的真空摆阀及其工作方法，其中，用于真空镀膜腔的真空摆阀包括：阀体、阀板、驱动机构以及转动式支撑组件；所述阀板转动设置在所述阀体的内腔中上；所述驱动机构适于驱动所述阀板将所述阀体的内腔中的阀口打开或关闭；所述转动式支撑组件套设在所述阀板与所述阀体之间，且远离真空侧设置；所述阀板适于在打开阀口时，驱动转动式支撑组件转动。通过在阀板与阀体之间设置转动式支撑组件对垫片的位置进行调节，在阀板每次打开时，推动垫片转动，使阀板与垫片的受力点发生改变，从而延缓垫片的变形时间，提高真空摆阀的使用寿命。
主权项：1.一种用于真空镀膜腔的真空摆阀，其特征在于，包括：阀体、阀板、驱动机构以及转动式支撑组件；所述阀板转动设置在所述阀体的内腔中上；所述驱动机构适于驱动所述阀板将所述阀体的内腔中的阀口打开或关闭；所述转动式支撑组件套设在所述阀板与所述阀体之间，且远离真空侧设置；所述阀板适于在打开阀口时，驱动转动式支撑组件转动；所述驱动机构包括：支撑底座、驱动电机以及转动部；所述支撑底座固定设置在所述阀体的内腔中；所述驱动电机固定设置在所述阀体的外表面；所述转动部一端穿过所述阀体的侧壁，深入到所述阀体的内腔后，与所述阀板固定连接，另一端与所述驱动电机的转子连接；所述驱动电机适于在工作时，驱动所述转动部正传或反转，从而驱动所述阀板将所述阀体的内腔中的阀口打开或关闭；所述转动式支撑组件设置在所述支撑底座与所述阀板之间，且设置在所述支撑底座上；所述转动式支撑组件包括：垫片以及单向驱动件；所述支撑底座开设有转动槽；所述垫片的下部插入所述转动槽中，所述垫片的上部从所述转动槽伸出；所述单向驱动件滑动设置在所述支撑底座的顶面；所述阀板适于在打开时，驱动所述单向驱动件滑动，从而推动所述垫片转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州卓旻精密机械科技有限公司 用于真空镀膜腔的真空摆阀及其工作方法
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