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申请/专利权人：东领科技装备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种便于清理的半导体镀膜设备，其技术方案要点是：包括箱体，所述箱体的一侧开设有操作孔，所述操作孔的内部设置有箱门，所述箱门通过合页活动套设在所述操作孔的内部，所述箱体的内部一侧固定安装有电动滑杆；拆卸组件，所述拆卸组件设置在所述箱体的顶面，用于清理蒸汽冷凝形成的物料余料，通过设置电动滑杆，通过电动滑杆可以作为装置的驱动元件，在卡接半导体之后，可以通过电动滑杆调整其位置，将其送入镀膜装置之中,通过设置收集膜，通过收集膜可以对于加热镀膜原料之后的产生的蒸汽余料进行收集，避免蒸汽直接凝结在第一顶盖的底面不方便清理的问题，同时在收集再利用时可以直接取下收集膜对于上面的余料取下即可。
主权项：1.一种便于清理的半导体镀膜设备，其特征在于，包括：箱体1，所述箱体1的一侧开设有操作孔2，所述操作孔2的内部设置有箱门3，所述箱门3通过合页活动套设在所述操作孔2的内部，所述箱体1的内部一侧固定安装有电动滑杆4；拆卸组件，所述拆卸组件设置在所述箱体1的顶面，用于清理蒸汽冷凝形成的物料余料。
全文数据：
权利要求：
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