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申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日：2024-04-25
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118256894A
主分类号：C23C16/44
分类号：C23C16/44;H01L21/67
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本申请公开了尾气处理组件、镀膜设备和扩散方法。尾气处理组件包括进气管道、冷却器、过滤器、负压泵和过气管道。进气管道与工艺管连通。冷却器包括本体和冷却管道。本体具有进气口和出气口，冷却管道一端连接进气口，另一端连接进气管道。出气口与过滤器连通，在过滤器与出气口之间设置有第一阀门。过滤器与负压泵连通。过气管道的一端连接出气口，过气管道的另一端连接负压泵，过气管道设置有第二阀门。通过上述方式，本申请能够对镀膜设备的尾气进行充分处理，减少尾气处理组件堵塞的技术问题。
主权项：1.一种尾气处理组件，其特征在于，包括：进气管道，用于与工艺管连接；冷却器，所述冷却器包括本体和冷却管道，所述本体具有进气口和出气口，所述冷却管道连接所述进气口与所述进气管道；过滤器，所述出气口与所述过滤器连通，在所述过滤器与所述出气口之间设置有第一阀门；负压泵，所述过滤器与所述负压泵连通；过气管道，所述过气管道的一端连接于所述出气口，所述过气管道的另一端连接于所述负压泵，所述过气管道设置有第二阀门。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 尾气处理组件、镀膜设备和扩散方法
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