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申请/专利权人：细美事有限公司
申请日：2023-04-12
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118259701A
主分类号：G05D16/20
分类号：G05D16/20
优先权：["20221226 KR 10-2022-0183963"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：提供了一种用于稳定地控制贮存器的内部气压的压力控制设备。该压力控制设备包括：输入端子，接收源气压；进气阀，连接在输入端子和输出端子之间；排气阀，连接到输出端子；压力传感器，连接到输出端子，并通过感测输出端子处的压力产生感测值；以及控制器，通过同时操作第一控制回路和第二控制回路来同时操作进气阀和排气阀，其中第一控制回路通过将感测值与第一目标值进行比较来调整进气阀的打开程度，第二控制回路通过将感测值与第二目标值进行比较来调整排气阀的打开程度。
主权项：1.一种压力控制设备，包括：输入端子，接收源气压；进气阀，连接在所述输入端子和输出端子之间；排气阀，连接到所述输出端子；压力传感器，连接到所述输出端子，并通过感测所述输出端子处的压力来产生感测值；以及控制器，通过同时操作第一控制回路和第二控制回路来同时操作所述进气阀和所述排气阀，其中所述第一控制回路通过将所述感测值与第一目标值进行比较来调整所述进气阀的打开程度，所述第二控制回路通过将所述感测值与第二目标值进行比较来调整所述排气阀的打开程度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 压力控制设备和包括该压力控制设备的衬底处理装置
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